方案咨询
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产品参数
产品优势
1、第三方设备对接交互：与多种类型第三方设备灵活对接，自主完成交互动作。
2、晶圆盒柔性周转：灵活搬运晶圆盒，稳定安全。
3、人、机、车队协同作业：人、机、车相互协同高效作业。
适用行业
CN
KR
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